技術編號：3379354
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種。背景技術 金剛石膜是一種全晶質、多晶純金剛石材料，具有天然金剛石的基本性質；類金剛石膜是指含有金剛石結構的非晶碳膜，它的性能與純金剛石很接近。金剛石膜和類金剛石膜有很高的硬度和耐磨性、良好的導熱性、絕緣性、光學特性、化學穩(wěn)定性及摻雜誘導半導體特性等，作為一種優(yōu)秀的工程結構材料和功能材料，在裝飾、電子、光學、機械、光學等許多領域有著非常廣泛的應用前景。金剛石膜和類金剛石膜在沉積過程中，會因為晶體沿著某些晶面的擇優(yōu)生長，導致厚度不均、顆粒大小不...
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