技術(shù)編號：3377127
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種工藝腔傳輸控制系統(tǒng)，具體地講是涉及一種低壓化學(xué)氣相沉積反應(yīng)工藝腔中的單電機(jī)同步傳輸控制系統(tǒng)。背景技術(shù)由于太陽能清潔安全、取之不竭，很多國家將目光投向了清潔的太陽能發(fā)電。對于太陽能發(fā)電而言，最重要的莫過于太陽能電池技術(shù)的發(fā)展。其中，薄膜太陽能電池就以其大面積、輕薄透明等特點(diǎn)在民用設(shè)施建筑物等的太陽能發(fā)電領(lǐng)域擁有廣闊的發(fā)展前景。薄膜太陽能電池的制造需要透明導(dǎo)電氧化物玻璃(TCO)作為電池的前電極，LPCVD 設(shè)備就是根據(jù)低壓化學(xué)氣相沉積法制備TC...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。