技術編號：3376377
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種傳動加熱系統(tǒng)，具體地講是涉及一種化學氣相淀積工藝反應腔室中的傳動加熱系統(tǒng)。本發(fā)明還涉及一種基于上述系統(tǒng)的傳動加熱方法。背景技術光伏應用的未來市場發(fā)展，特別是用于與電網(wǎng)相連的光伏電廠的應用，關鍵取決于降低太陽能電池生產(chǎn)成本的潛力。薄膜太陽能電池生產(chǎn)過程能耗低，具備大幅度降低原材料和制造成本的潛力；同時，薄膜太陽能電池在弱光條件下仍可發(fā)電。因此，目前市場對薄膜太陽能電池的需求正逐漸增長，而制造薄膜太陽能電池的技術更成為近年來的研究熱ZnO是一種N...
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