技術(shù)編號：3375327
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明提供一種超低溫拋光裝置，屬于拋光設(shè)備。 背景技術(shù)機械去除法是傳統(tǒng)的拋光方法，它是依靠拋光顆粒與加工表面的直接接觸和摩擦來得到超光滑表面的。機械拋光法的去除率較大，也能夠得到亞納米量級的表面粗糙度，但由于是直接接觸，容易使表面產(chǎn)生劃傷及內(nèi)應力等，也很難避免加工變質(zhì)層和亞表層損傷。 在此基礎(chǔ)上發(fā)展出無磨料拋光方法。無磨料拋光方法是利用凝結(jié)的冰來拋光的，由于冰必須在0°c以下才會形成，所以無磨料拋光又叫低溫拋光。無磨料拋光是一個極大的創(chuàng)新，它沖破了傳統(tǒng)的拋...
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