技術(shù)編號：3374925
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及表面涂覆領(lǐng)域，尤其涉及等離子體增強的表面涂覆，其中單體物質(zhì)被使得聚合并沉積在表面上從而形成一層均勻的憎油和憎水材料。背景技術(shù)在前述涂覆過程中，單體物質(zhì)被引入惰性載氣并以受控量饋入低壓等離子體室。 因而需要其中受控量的單體可蒸發(fā)到惰性氣體流內(nèi)的均勻蒸發(fā)過程。同樣需要確保惰性載氣中的單體濃度高且均勻的過程和設(shè)備，以使涂覆過程有效率。發(fā)明內(nèi)容根據(jù)本發(fā)明，提供了在低壓力下等離子體涂覆憎水和憎油聚合層的方法，其中該方法包括步驟-提供具有表面的襯底；-將包括...
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