技術(shù)編號(hào)：3371436
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。(一) -本發(fā)明涉及，特別是一種用于媽的拋 光液及其制備方法。(二) 背景技術(shù)鎢是半導(dǎo)體集成電路中被廣泛應(yīng)用的一種金屬材料，由于金屬鉤 材料本身特性，及大規(guī)模集成電路對(duì)表面要求的精度很高，給材料表 面平坦化加工帶來(lái)了很大難度。目前國(guó)際上主要采用酸性拋光液進(jìn)行 拋光加工，對(duì)設(shè)備的損害比較嚴(yán)重，而且拋光后清洗難度增加。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的在于提供一種用于鎢的拋光液及其制備方法，它能 克服現(xiàn)有技術(shù)中的清洗缺點(diǎn)，做到高效清洗并對(duì)設(shè)備沒(méi)有損害。本發(fā)明的技術(shù)方案 一種...
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