技術(shù)編號：3368578
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種真空光導(dǎo)分子/原子氣微噴射裝置。它可以實(shí)現(xiàn)分子/原子氣 射流的定向噴射或者沉積過程，從而實(shí)現(xiàn)了噴射過程的精確控制。本發(fā)明可以用于微噴 射成型、真空熱蒸發(fā)、微精密加工、精確微點(diǎn)/面噴涂、鍍膜、微電子電路制造和焊接 等工藝領(lǐng)域。背景技術(shù)本發(fā)明源于對噴射成型冶金技術(shù)和微電子工業(yè)真空熱蒸發(fā)鍍膜工藝的研究，但 本發(fā)明的意義超越了這些技術(shù)應(yīng)用本身。噴射成型冶金技術(shù)的核心技術(shù)是射流霧化技術(shù)，射流霧化是一個(gè)將連續(xù)射流通 過物理方式分解為小液滴和顆粒的過程，其...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。