技術(shù)編號：3368284
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及薄膜沉積裝置，特別是涉及如何減少掩模耗損的方法。 背景技術(shù)有機電激發(fā)光顯示器具備自發(fā)光、高應(yīng)答速度、視角廣、省電、高對比，以及不需背光版、配向膜、偏光膜、彩色濾光片等優(yōu)勢，所以被認定是下個世代顯示器的發(fā)展趨勢。然而以塑膠基板制作有機電激發(fā)光顯示器仍面臨許多問題待解決，特別是有機電激發(fā)光元件中的有機材料及金屬對氧氣及水氣相當敏感。水/氧氣的過量滲透會氧化元件金屬，減少有機電激發(fā)光顯示器元件結(jié)構(gòu)中的電子注入，進而嚴重影響其性能及壽命。所以制作完成后，...
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