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一種含氫類金剛石膜的制備方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:3367814

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本發(fā)明涉及類金剛石膜,特別涉及。 背景技術(shù)類金剛石膜(Diamond-Like Carbon,簡稱DLC)是一種非晶態(tài)的碳材料,碳原子以 SP2和SP3雜化鍵結(jié)合。SP3雜化鍵的存在使類金剛石膜具有與金剛石相近的優(yōu)良性質(zhì),如 高硬度、耐磨損、低摩擦系數(shù)、高電阻率、高導(dǎo)熱率和高化學(xué)穩(wěn)定性等。自從20世紀70年代 發(fā)現(xiàn)以來,由于其在機械、化學(xué)、光學(xué)、熱學(xué)、電學(xué)等方面表現(xiàn)出的獨特性質(zhì),類金剛石膜吸 引大量的研究工作,并且取得了很多實際的應(yīng)用成果(1、鄧新綠,馬國...
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