技術編號：3367808
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及視窗元件，特別是涉及具有視窗元件的等離子體制作工藝觀測裝置。 背景技術薄膜沉積及蝕刻可利用等離子體輔助化學氣相沉積制作工藝的方法來進行。而薄膜沉積及蝕刻的結果與制作工藝中活性反應物種間的濃度非常的相關。因此觀測并分析等離子體制作工藝環(huán)境中活性反應物種間的濃度變化是非常重要的。舉例來說，觀測等離子體輔助化學氣相沉積制作工藝的一種方法是利用光放射光譜儀(Optical Emission Spectroscopy ;0ES)，從腔體外部通過例如視窗玻璃...
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