技術編號：3367594
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種復合薄膜的制備方法，更具體地，是一種TiWN/Mo&復合薄膜的制 備方法。背景技術硬質薄膜廣泛的應用于控制摩擦磨損，為了進一步提高薄膜的性能提出過許多方 法，如多種成分復合、多層膜以及超晶格。大多數(shù)研究集中于怎樣提高薄膜本身的機械強 度，而忽視其對于摩擦行為的負作用。將W加入到TiN中形成的TiWN薄膜提高膜的硬度，并且具有優(yōu)良的抗氧化性能與 耐腐蝕性能，但TiWN薄膜本身非常脆，并有較高的摩擦系數(shù)，磨損過程中導致薄膜不能到 達預期的...
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