技術(shù)編號：3364597
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明是一種離子注入機(jī)的定向臺用的滑動和旋轉(zhuǎn)軸密封組件，涉及離子注入機(jī)，屬于半導(dǎo)體制造領(lǐng)域。背景技術(shù)在200mm或更大尺寸的晶片的工藝中，90nm及其更高的65nm制程的離子注入工藝中，針對注入時(shí)晶片圓周方向角度變化工藝種類工藝要求傾斜角度“magic” 7°，靶臺旋轉(zhuǎn)角度22° 45°，必須重點(diǎn)研究離子束注入晶片內(nèi)溝道時(shí)的角度的精確度；在三阱隔離摻雜注入工藝中，圍繞溝道軸(channeling axis)的小角度變化要求解決的注入重復(fù)性問題；在四方位注入...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。