技術(shù)編號：3364268
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及對半導(dǎo)體晶片等被處理體進(jìn)行處理的處理設(shè)備的控制系統(tǒng)和控制方法，特別是涉及可以對多臺處理設(shè)備進(jìn)行統(tǒng)一管理的控制系統(tǒng)和控制方法。背景技術(shù) 為了在半導(dǎo)體晶片表面上成膜和進(jìn)行摻雜劑擴(kuò)散等各種處理，使用了半導(dǎo)體處理設(shè)備?，F(xiàn)有半導(dǎo)體處理設(shè)備的主流是單機(jī)型。在設(shè)置多臺單機(jī)型處理設(shè)備的工廠中，根據(jù)存儲在各設(shè)備的控制器中的控制程序和控制數(shù)據(jù)對各臺設(shè)備單獨(dú)進(jìn)行控制。另外，各臺設(shè)備的維修也是單獨(dú)進(jìn)行的。已知也有通過網(wǎng)絡(luò)將多臺處理設(shè)備與控制用計(jì)算機(jī)連接，利用該計(jì)算機(jī)來控...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。