技術(shù)編號：3364051
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于微納圖形結(jié)構(gòu)，是一種。 背景技術(shù)從20世紀(jì)以來，微納圖形制造領(lǐng)域取得了長足的發(fā)展。圖形結(jié)構(gòu)由于具有良好的 增透射性，抗反射性，較寬的光譜響應(yīng)性以及極性不靈敏性而廣泛應(yīng)用于太陽能電池，光學(xué) 器件，液晶顯示以及光伏器材上。圖形結(jié)構(gòu)一般呈規(guī)則排列的金字塔形或者錐形陣列，其性 能由陣列周期和結(jié)構(gòu)單元的深寬比決定，而且也與制造這種結(jié)構(gòu)的材料有關(guān)。目前的圖形 結(jié)構(gòu)材料有硅，石英，聚合物以及光刻膠等。激光直寫技術(shù)是指利用強(qiáng)度可變的激光束對基片表面的膜層材料進(jìn)行...
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