技術(shù)編號：3364034
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及化學(xué)機械拋光設(shè)備，特別涉及一種拋光墊修整頭。 背景技術(shù)化學(xué)機械拋光設(shè)備中，拋光墊在使用一段時間后，隨著自身的磨損以及磨屑對拋 光墊表面微孔的填充，拋光墊表面變得平滑，形成釉化層，使拋光墊存儲、輸送磨料的能力 降低，導(dǎo)致材料去除率和拋光表面質(zhì)量下降。通過修整頭上金剛石盤對拋光墊進行適當?shù)?修整，可去除釉化層以及拋光墊上的磨屑，提高拋光墊粗糙度及其使用壽命，降低成本，保 證拋光一致性。修整頭帶動金剛石盤下壓與拋光墊接觸，并帶動金剛石盤旋轉(zhuǎn)，金剛石盤在...
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