技術(shù)編號：3363987
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體器件或其中間產(chǎn)品或概括地說器件的制造方法，對于這些器件的制造提出了同樣高的要求，尤其是關(guān)于處理單元，如在半導(dǎo)體器件制造中的處理單元。背景技術(shù) 在這里和以下，術(shù)語“器件”是指一個即可使用的且可在市場上買到的構(gòu)件，例如，這樣的器件可以是半導(dǎo)體芯片。在制造中，“元件”接受處理，它們最后導(dǎo)致上述的器件。一個元件如晶片在經(jīng)過處理后最終導(dǎo)致制成一個或多個器件，例如，由經(jīng)過處理的晶片制造出一個或多個作為器件的芯片。所述器件尤其是光電器件、光學(xué)器件或微機(jī)械...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。