技術(shù)編號：3363632
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本公開涉及基板對準(zhǔn)裝置、具有該基板對準(zhǔn)裝置的基板處理裝置以及基板對準(zhǔn)方 法，特別涉及能夠通過在上下驅(qū)動的基座上以水平方向順序地移動基板和掩模而精確地和 自動地在基板上對準(zhǔn)掩模的基板對準(zhǔn)裝置、包括這種基板對準(zhǔn)裝置的基板處理裝置以及基 板對準(zhǔn)方法。背景技術(shù)近年來，正在研制和生產(chǎn)代替陰極射線管的各種平板顯示器。液晶顯示器(LCD)、 場發(fā)射顯示器(FED)、電致發(fā)光顯示器(ELD)、等離子體顯示面板(PDP)等都屬于平板顯示ο尤其是，具有固態(tài)性質(zhì)的ELD以相對寬...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。