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技術(shù)編號(hào)：3363140

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本發(fā)明涉及一種化學(xué)氣相沉積(Chemical Vapor Deposition ；CVD)機(jī)臺(tái)，且特別是涉及一種有機(jī)金屬化學(xué)氣相沉積(Metal-Organic CVD ；M0CVD)機(jī)臺(tái)。背景技術(shù)在發(fā)光二極管(LED)的工藝中，各半導(dǎo)體層的外延程序是相當(dāng)重要的步驟。發(fā)光二極管的外延程序中，一般是以有機(jī)金屬化學(xué)氣相沉積(Metal-Organic CVD ；M0CVD)機(jī)臺(tái)進(jìn)行，并需要利用晶片承載盤(WaferSusceptor)來裝載晶片以進(jìn)行外延工藝。...
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