技術(shù)編號:3361517
提示:您尚未登錄,請點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種拋光工具,尤其涉及一種用于電流變拋光的公自轉(zhuǎn)組合式運(yùn)動拋光工具,屬于超精密光學(xué)表面加工工具領(lǐng)域。 背景技術(shù)目前,代表國際研究熱點(diǎn)的先進(jìn)光學(xué)制造技術(shù)主要有使用旋轉(zhuǎn)拋光盤的小工具 數(shù)控拋光技術(shù)(CCOS)、采用磁場來改變散粒磨料粘度的磁流變拋光技術(shù)(MRF)和離子束拋 光技術(shù)(Ion Polishing)等。其中,小工具數(shù)控拋光技術(shù)采用計算機(jī)控制一個小磨頭對光 學(xué)元件進(jìn)行研磨或拋光,通過控制磨頭在工件表面的駐留時間和相對壓力來控制材料的去 除量,...
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