技術編號：3359927
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。 本發(fā)明涉及薄膜形成方法及成膜裝置。 背景技術當前，正在廣泛地開展應對設備的高性能化、小型化的薄膜技術。設備的薄膜 化不光給用戶帶來直接的優(yōu)點，從地球資源的保護，消耗電力的降低等的環(huán)境側(cè)面觀點 來看也發(fā)揮重要的作用。通常，在真空成膜中，使成膜源與襯底對置，且由掩模限定襯底的表面的成膜 區(qū)域。也有僅將從成膜源飛來的粒子中相對于襯底以特定的角度范圍入射的粒子堆積在 襯底上的技術。為了提高薄膜的生產(chǎn)率，長時間成膜技術是必須的。為了實現(xiàn)長時間成膜，不 僅要掌握成膜...
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