技術(shù)編號：3358434
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實用新型屬于熱蒸發(fā)薄膜制備領(lǐng)域，具體涉及一種熱蒸發(fā)沉積薄膜所用的導(dǎo)流型熱蒸發(fā)沉積裝置。背景技術(shù)熱蒸發(fā)是薄膜制備的一種最基本和最常用的方法。因它具有較高的沉積速率和較高的薄膜質(zhì)量等優(yōu)點，在薄膜制備領(lǐng)域中有著非常廣泛的應(yīng)用。但通常熱蒸發(fā)均采用蒸汽 由下方往上方沉積的方式進行，不適用于對一些需要蒸汽由上方往下方沉積的應(yīng)用場合。發(fā)明內(nèi)容現(xiàn)有技術(shù)中熱蒸發(fā)不適合蒸汽由上方往下方沉積的應(yīng)用領(lǐng)域，本實用新型提供一種導(dǎo)流型熱蒸發(fā)沉積裝置，適用于需要在下方固定樣品的熱蒸發(fā)氣...
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