技術編號：3354925
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型涉及一種非金屬材料的工業(yè)化提純生產(chǎn)技術，特別是半導體 基礎材料超高純砷的生產(chǎn)用蒸餾爐的技術。技術背景目前高純砷的生產(chǎn)方法有氯化精餾法、鉛熔池升華法和砷化氫裂解法， 它們的共同缺陷是生產(chǎn)成本高、批量小，不能適應市場需求。另外，氯化精 餾法又存在投產(chǎn)成本高、生產(chǎn)用塔易損壞、產(chǎn)品質(zhì)量不穩(wěn)定、生產(chǎn)過程中易 產(chǎn)生三氯化砷氣體泄漏、生產(chǎn)過程存在安全隱患；鉛熔池升華法存在質(zhì)量不 能達標；砷化氫裂解法存在砷化氫毒氣泄漏的安全隱患。申請?zhí)枮?20061003954...
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