技術(shù)編號：3354708
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型涉及一種真空分離裝置，尤其涉及一種用于將砷化鎵分離為金 屬鎵與金屬砷的真空分解裝置。背景技術(shù)從六十年開始，隨著砷化鎵化合物半導體的出現(xiàn)，從砷化鎵化合物半導體 的合成、單晶的制備、晶片的生產(chǎn)以及到器件的制備過程，都留有砷化鎵的尾 料。因此人們開始了從砷化鎵中回收鎵的工藝研究，主要有兩種回收工藝思路，簡述如下砷化鎵在石英系統(tǒng)中的分離。因為砷化鎵的合成是在石英系統(tǒng)中，在真空 條件下，123(TC左右，砷蒸汽與金屬鎵合成為砷化鎵。因此，我國有關(guān)單位進 行...
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