技術編號：3353562
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。線沉積源這里使用的多個部分的標題只是用于組織目的，而不應該解釋為以任何方式限制 描述在本申請中的主題。相關申請部分本申請要求美國臨時專利申請系列號No.61/156348(2009年2月27日遞交，標 題為"Deposition Source, Systems, and Related Methodsfor Co-Depositing Copper, Indium, and Gallium”)和美國臨時專利申請系列號No. 61/138932 (2008年...
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