技術(shù)編號：3351160
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種適用于電子束流的提純系統(tǒng)，更特別地說，是把一種利用大功率 電子束從半導(dǎo)體、金屬以及介電材料中清除雜質(zhì)的提純系統(tǒng)，該提純系統(tǒng)旨在提高物 料的純度。背景技術(shù)工業(yè)中大量使用的半導(dǎo)體、金屬、以及介電材料，常要求這些材料所含雜質(zhì)盡可 能少。也隨之產(chǎn)生了許多提純的方法。在真空環(huán)境中利用感應(yīng)或電阻加熱的方式，利 用雜質(zhì)與原料飽和蒸氣壓的不同提純物料，屬于真空提純的范疇。常規(guī)的真空提純通常采用大尺寸坩堝(容器) 一次投料的方式，通常將熔煉坩堝 和收集坩堝合二...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。