技術(shù)編號：3349220
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種磁控濺射鍍吸收膜工藝，尤其適用于太陽能真空集熱管的吸收膜制備?，F(xiàn)有適用于太陽能真空集熱管吸收膜的制備工藝，是在磁控濺射鍍膜過程中，采用單靶金屬鋁，先后輸入氬及反應(yīng)氣體純氮，與濺射出來的鋁原子進行反應(yīng)，生成Al-N沉積在被鍍工件表面成吸收膜，CN85100014.2專利公開了這一技術(shù)。CN90105230專利所用的反應(yīng)氣體是純氮和純氧，在工件上生成Al-N-O吸收膜。有的現(xiàn)有技術(shù)采用單靶金屬鈦，以提高吸收膜的耐溫?，F(xiàn)有技術(shù)的不足之處是需使用純度...
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