技術(shù)編號(hào):3348933
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及貴金屬合金制備技術(shù)、高含量具有升華特性易揮發(fā)元素添加技術(shù),尤其涉及一種金砷合金靶材及其制備方法。 背景技術(shù)P. L. S波段硅功率晶體管廣泛應(yīng)用于雷達(dá)、導(dǎo)航及通信等領(lǐng)域。制備該晶體管的一 項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)是金屬化。金屬化技術(shù)使用的原材料之一是金砷合金靶材。主要由于金砷合金 靶材抗電遷移和抗電腐蝕性能好,且合金性能穩(wěn)定。P. L. S波段硅功率晶體管金屬化技術(shù)要 求金砷合金耙材中砷含量達(dá)到1%以上。 目前利用常規(guī)的添加合金元素的方法(即將添加元素直接加入...
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