技術(shù)編號(hào):3347846
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于表面工程,特別是采用電弧離子鍍技術(shù)沉積一種TiC/DLC多層薄膜的方法,本發(fā)明可應(yīng)用于多種金屬工件表面耐磨損處理。背景技術(shù)目前在已有技術(shù)中,都是用單層類金剛石薄膜,由于TiC/DLC多層薄膜比單層類金剛石薄膜的內(nèi)應(yīng)力低得多,從而提高了薄膜的韌性,TiC/DLC多層薄膜的厚度可以沉積到2 u m以上;同時(shí)TiC/DLC多層薄膜也保持了類金剛石薄膜高硬度、低摩擦系數(shù)的性能優(yōu)點(diǎn)。因此,TiC/DLC多層薄膜也可用于基底硬度相對(duì)較低的工件表面耐磨損處理。...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。