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一種釔-鋁共摻雜氧化鋅薄膜及其制備方法技術資料下載

技術編號:3346434

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本發(fā)明屬于納米透明半導體無機材料領域,涉及無機薄膜及其制備方法,具體涉及一種屏蔽紫外光、近紅外光和可見光透過性強的釔-鋁共摻雜氧化鋅薄膜及其制備方法。背景技術透明半導體薄膜具有較高的可見光透過率和導電性,具有紫外截止、紅外高反射、 微波強衰減等特性,已被廣泛應用于各種光電器件中。氧化鋅(化學式aiO)是一種纖鋅礦結構的II -VI族化合物,常溫下其禁帶寬度為3. 37 eV,激子束縛能60meV,易實現(xiàn)高效受激發(fā)射,是制作量子效率高、激發(fā)閾值低的光電子器件...
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