技術(shù)編號(hào):3345722
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及鋁合金薄膜和該鋁合金薄膜成形用濺射靶材,尤其是涉及構(gòu)成液晶顯示器的薄膜配線(xiàn)、電極、半導(dǎo)體集成電路的配線(xiàn)等的高耐熱性、低電阻的鋁合金薄膜,以及適合該鋁合金薄膜成形用的濺射靶材。背景技術(shù) 近年來(lái),液晶顯示器以筆記本電腦的顯示裝置為代表大量使用以取代所謂的陰極射線(xiàn)管(CRT),其液晶顯示的大畫(huà)面化、高精細(xì)化的進(jìn)展驚人。因此,在液晶顯示器領(lǐng)域,薄膜晶體管(以下簡(jiǎn)稱(chēng)為T(mén)FT)型的液晶顯示器需要正在增加,對(duì)其液晶顯示的特長(zhǎng)要求也更為嚴(yán)格。特別是,隨著液晶顯示...
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