技術(shù)編號:3345311
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種金屬材料的化學(xué)蝕刻用組合物及其制備工藝,具體涉及一種新型酸性鉬鋁蝕刻液和制備工藝。背景技術(shù)蝕刻是將材料使用化學(xué)反應(yīng)或物理撞擊作用而移除的技術(shù)。蝕刻技術(shù)分為濕蝕刻和干蝕刻,其中,濕蝕刻是采用化學(xué)試劑,經(jīng)由化學(xué)反應(yīng)達到蝕刻的目的。鉬鋁蝕刻液,為無色透明液體,有氣味酸性,在現(xiàn)有技術(shù)中,主要由磷酸、硝酸和醋酸經(jīng)攪拌混勻過濾制得,上述蝕刻液已廣泛應(yīng)用于薄膜場效應(yīng)晶體管液晶顯示器(TFT LCD)、發(fā)光二極管(LED)、有機發(fā)光二極管(OLED)等行業(yè)用...
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