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一種制備多晶硅絨面的方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:3345301

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本發(fā)明涉及一種太陽能電池制造技術(shù),特別涉及。 背景技術(shù)目前多晶硅片的制備需要經(jīng)過以下工序?qū)⒍嗑Ч柙掀M(jìn)行雙面酸制絨工序、 單面擴(kuò)散工序、濕法單面刻蝕工序、鍍氮化硅減反射膜工序、印刷與燒結(jié)工序和測試與分檔工序。由于在雙面酸制絨工序中,多晶硅片完全浸在藥液中,雙面都被制絨,使多晶硅片的正、背兩面均獲得蟲孔狀的高低不平的絨面結(jié)構(gòu),在后序濕法單面刻蝕工序中,硅片非擴(kuò)散背面又經(jīng)過一次酸腐蝕,從而導(dǎo)致非擴(kuò)散背面高低不平,影響后序背面場和背電極的燒結(jié), 使背面場和背電...
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