技術(shù)編號：3342847
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及金屬表面強化處理。背景技術(shù)氮化鈦(TiN)是一種非計量化合物，同時具有金屬晶體和共價晶體的特點，熔點高達2955°C。作為表面涂層，TiN具有高硬度、耐磨損、耐高溫、抗熱震、摩擦系數(shù)低等優(yōu)良的綜合力學性能，是目前研究和應(yīng)用最為廣泛的薄膜材料之一。TiN作為涂層成功地應(yīng)用于刀具、鉆頭等工具上，被認為是金屬切削刀具技術(shù)發(fā)展史上的一次革命。TiN涂層的制備技術(shù)目前主要是物理氣相沉積(PVD)和化學氣相沉積(CVD)。PVD法形成溫度較低、涂層較薄，與基...
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