技術(shù)編號：3338772
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明提供，該掩膜裝置包括框架以及設(shè)置在所述框架上的掩膜板，所述框架包括疊加固定的第一框架和第二框架，所述第一框架采用形狀記憶合金制成，所述第二框架采用熱膨脹系數(shù)小于預(yù)定值的金屬材料制成，所述掩膜板焊接在所述第一框架上。本發(fā)明的掩膜裝置，利用具有形狀記憶功能的形狀記憶合金作為焊接掩膜板的框架，在焊接組裝掩膜板的過程中，只需始終對形狀記憶合金框架施加恒定的對抗力即可。當(dāng)掩膜板焊接組裝完成后，撤掉對抗力并對形狀記憶合金框架進(jìn)行加熱，即可使形狀記憶合金框架恢復(fù)到...
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