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技術(shù)編號：3338732

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，涉及納米復(fù)合薄膜。將兩片F(xiàn)e65Co35靶安裝在對向靶裝置上；將Ni0.5Zn0.5Fe2O4靶安裝在單靶上，將硅基片固定在沉積室內(nèi)樣品架上并抽真空；產(chǎn)生Fe、Co原子蒸汽，氣相Fe、Co原子在濺射室中形成Fe65Co35合金納米顆粒，經(jīng)過過濾區(qū)噴嘴的篩選后得納米粒子束流，進(jìn)入沉積室并沉積到基片上；制備Ni0.5Zn0.5Fe2O4薄膜；在旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)作用下使基片交替沉積Fe65Co35合金納米顆粒和Ni0.5Zn0.5Fe2O4薄膜，使Fe65Co35合金...
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