技術(shù)編號(hào)：3337190
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及復(fù)合涂層制備的，公開了一種多元復(fù)合涂層的制備裝置，該裝置包括多個(gè)弧源，用于對(duì)多種靶材分別起弧對(duì)應(yīng)產(chǎn)生多種等離子體，并使多種等離子體運(yùn)動(dòng)；磁場(chǎng)管道，用于通過磁場(chǎng)約束并均勻混合多種等離子體，并使其同時(shí)到達(dá)待加工基體的表面，該磁場(chǎng)管道的一端與對(duì)應(yīng)的弧源連通；真空腔室，與磁場(chǎng)管道另一端連通，且待加工基體設(shè)置于真空腔室內(nèi)，多種等離子體進(jìn)入真空腔室內(nèi)在偏壓作用下撞擊待加工基體表面形成多元復(fù)合涂層。本實(shí)用新型通過采用磁場(chǎng)混合技術(shù)，將多個(gè)純金屬靶材產(chǎn)生的等離...
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