技術(shù)編號：3334528
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型公開了一種石墨舟，用于小管徑等離子化學氣相沉積，所述石墨舟具有多個石墨舟舟片，所述石墨舟的兩側(cè)最外層為兩石墨舟舟片貼合在一起形成的雙層結(jié)構(gòu)。本實用新型的石墨舟，可使熱場均勻，以減輕熱場分布的影響，使爐管內(nèi)沉積速率相近。專利說明石墨舟 [0001] 本實用新型涉及太陽能電池工藝設(shè)備，尤其涉及一種用于小管徑等離子 化學氣相沉積法沉積氮化硅減反射膜時所使用的石墨舟。 背景技術(shù) [0002] 為了提高晶體硅太陽電池的效率，通常需要減少太陽電池正...
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