技術編號：3333722
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型提供了一種研磨液供應系統(tǒng)和研磨裝置，所述研磨液供應系統(tǒng)包括包括研磨液臂；研磨液箱，所述研磨液箱與所述研磨液臂連接；研磨液管，所述研磨液管設置于所述研磨液臂內，所述研磨液管的開口位于所述研磨液箱內；馬達，所述馬達驅動所述研磨液臂和所述研磨液箱做轉動。通過設置研磨液臂、研磨液箱和馬達，所述馬達驅動所述研磨液臂和所述研磨液箱轉動，實現了研磨液的均勻分布，并且使研磨液得到充分利用。專利說明研磨液供應系統(tǒng)和研磨裝置 [0001]本實用新型涉及半導體制...
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