技術(shù)編號：3331592
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。手動CMP設(shè)備拋光機(jī)的改進(jìn)裝置，涉及晶片加工的裝置，本實(shí)用新型為了解決現(xiàn)有CMP設(shè)備的拋光機(jī)在使用過程中主要依賴于手動操作所產(chǎn)生的生產(chǎn)效率低、晶片加工一致性差的問題，本實(shí)用新型還包括自動開關(guān)、一號、二號、三號、四號自動上升選擇開關(guān)、噴淋計(jì)時(shí)繼電器、延時(shí)繼電器和沖洗停止報(bào)警程序，自動開關(guān)的一端與拋光機(jī)的拋光頭上升控制信號的輸出端連通，自動開關(guān)的另一端同時(shí)與一號、二號、三號、四號自動上升選擇開關(guān)及延時(shí)繼電器連通，一號、二號、三號、四號自動上升選擇開關(guān)分別對應(yīng)與...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。