技術編號：3331329
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。一種垂直布局制備金剛石膜的單陣列熱絲裝置，屬于鍍膜，特別涉及一種制備金剛石膜的熱絲裝置。該裝置包括真空室上壁板和真空室下壁板，其特征在于上電極板與真空室上壁板固定連接；單列的熱絲豎直分布，其上端與上電極板固定連接，其下端與下電極板固定連接；下電極板下端固定于熱絲調力機構之上，熱絲調力機構固定于真空室下壁板之上。本實用新型采用單陣列熱絲豎直分布，可以雙面大面積鍍膜，減少熱絲的成本，豎直分布的熱絲結構保證了在不破壞熱絲的情況下取出試樣，進一步降低了熱絲的成本，...
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