技術(shù)編號：3331327
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。一種雙開門立式制備金剛石膜的設(shè)備，屬于鍍膜，特別涉及一種制備金剛石膜的設(shè)備，該設(shè)備包括電源及控制系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、供氣系統(tǒng)及沉積系統(tǒng)，其特征在于所述沉積系統(tǒng)上連接有真空系統(tǒng)和供氣系統(tǒng)，所述沉積系統(tǒng)包括左腔室、右腔室、中部腔室和熱絲調(diào)力機構(gòu)，所述中部腔室固定安裝于真空系統(tǒng)之上，左腔室和右腔室分別轉(zhuǎn)動安裝于中部腔室兩側(cè)，熱絲豎直固定安裝于中部腔室內(nèi)部，熱絲下端連接有熱絲調(diào)力機構(gòu)。本實用新型采用熱絲豎直安裝于中部腔室上，真空室采用雙開門立式布局，待鍍膜試樣分別安裝...
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