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一種多腔室石墨沉積裝置及化學(xué)氣相沉積爐的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):3329675

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本實(shí)用新型公開(kāi)一種多腔室石墨沉積裝置,包括收塵機(jī)構(gòu)、具有兩個(gè)以上沉積室的沉積機(jī)構(gòu)以及用于盛放固體原料并向所述沉積室供送氣態(tài)原料的原料供給機(jī)構(gòu),所述收塵機(jī)構(gòu)設(shè)有用于收集所述沉積室逸出的粉塵的收塵容器以及用于供所述沉積室逸出的粉塵通過(guò)并流向所述收塵容器的收塵通道。本實(shí)用新型由于設(shè)置具有兩個(gè)以上沉積室的沉積機(jī)構(gòu),設(shè)置的原料供給機(jī)構(gòu)用來(lái)盛放固體原料并向所述沉積室供送氣態(tài)原料,因而相比于單腔室沉積組件能使產(chǎn)量大為提高;設(shè)置的收塵機(jī)構(gòu)使得沉積過(guò)程中產(chǎn)生的粉塵能夠在經(jīng)過(guò)...
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