技術編號：3329273
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型公開了一種提高濺射陰極靶材利用率和鍍層均勻性的裝置，軸向往復運動連接件與凸輪系統(tǒng)運動機構固定連接，徑向旋轉運動連接件與伺服電機驅動機構固定連接，進水支撐管的左右端分別與軸向往復運動連接件和徑向旋轉運動連接件固定連接，磁鐵組件固定在進水支撐管上，磁鐵組件在空間三個自由度允許的范圍內做周期性軸向直線往復運動和徑向旋轉往復運動。本實用新型使靶材在軸向刻蝕均勻性大大提高，進而削弱靶材管端部過度刻蝕現(xiàn)象，避免靶材管端部徑向刻蝕凹槽的產(chǎn)生，延長靶材使用壽命，...
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