技術(shù)編號：3327989
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實用新型涉及一種平面陰極，包含靶材、殼體、設(shè)置在殼體內(nèi)的軟鐵底板、設(shè)置在軟鐵底板上的磁陣，靶材位于所述磁陣的上方，所述磁陣包含N組并沿軟鐵底板的橫向進(jìn)行豎直的等距排列；所述磁陣包含形成在軟鐵底板上的環(huán)形跑道、設(shè)置在軟鐵底板上被環(huán)形跑道所包圍的第一磁鐵、設(shè)置在軟鐵底板上用于包圍環(huán)形跑道的第二磁鐵；所述磁陣還包含設(shè)置在環(huán)形跑道內(nèi)用于隔離并固定第一磁鐵和第二磁鐵的鋁塊；其中，被鋁塊隔離的第一磁鐵和第二磁鐵的極性相反。同現(xiàn)有技術(shù)相比，由于需鍍膜襯底在經(jīng)過靶材上方...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。