技術(shù)編號(hào):3327816
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及涉及一種可任意角度安裝使用的真空蒸發(fā)源,熱屏蔽組件、真空法蘭、容器、固定于所述熱屏蔽組件內(nèi)用于內(nèi)置容器的加熱組件、溫度測(cè)量組件、安裝在所述真空法蘭上且分別與加熱組件和溫度測(cè)量組件相電連接的真空電連接器,所述容器可拆卸嵌設(shè)于熱屏蔽組件遠(yuǎn)離真空法蘭的一端,所述的容器具有內(nèi)腔且其遠(yuǎn)離真空法蘭的一端設(shè)有與內(nèi)腔相連通的開口,所述的開口處設(shè)有伸入內(nèi)腔的周壁,所述周壁伸入內(nèi)腔的端部敞開且其面積小于與其處于同一平面內(nèi)的內(nèi)腔面積。通過在開口處設(shè)有伸入內(nèi)腔的周壁...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。