技術(shù)編號：3325607
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明公開了一種用于化學(xué)氣相沉積方法轉(zhuǎn)移石墨烯薄膜的工裝系統(tǒng)，包括底板、與底板固定連接的固定柱、墊片、蓋板的夾具和裝液斗；所述墊片可以穿過固定柱，用于隔離石墨烯薄膜支撐層；所述蓋板置于固定柱的頂部，用于配合裝液斗的格擋柱防止夾具在催化基底進(jìn)行刻蝕時，夾具漂浮到刻蝕液液面上；所述裝液斗包括箱體和固定箱體上部的固定板，所述箱體設(shè)置有漏孔，所述固定板設(shè)置有機(jī)械手掛鉤孔和格擋圓柱安裝孔；所述底板、與底板固定連接的固定柱、墊片和蓋板組裝完成所形成的夾具放置于裝液斗的...
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