技術(shù)編號：3319631
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及化學(xué)氣相沉積，本發(fā)明提供了一種耦合高頻振動的微型等離子增強化學(xué)氣相沉積裝置，包括供氣系統(tǒng)、排氣系統(tǒng)、真空反應(yīng)室、支架、噴氣系統(tǒng)、激振器、沉積臺和電控裝置。本發(fā)明采用排氣系統(tǒng)可對真空腔抽真空，在連接射頻電源RF正極的噴射板、連接負極的載物板之間形成射頻電場，供氣系統(tǒng)提供惰性氣體和反應(yīng)氣體，噴氣系統(tǒng)噴出的反應(yīng)氣體在射頻電場作用下輝光放電產(chǎn)生大量電子，經(jīng)一系列化學(xué)反應(yīng)在收集片表面沉積出薄膜，調(diào)節(jié)加熱片加熱功率、激振器振動頻率、射頻電源RF功率、噴射板與...
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