技術(shù)編號(hào):3317383
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種汽相沉積系統(tǒng),具體地,涉及一種化學(xué)束薄膜沉積設(shè)備及薄膜沉積的方法。本發(fā)明提供了一種用于對(duì)多種種類進(jìn)行真空沉積的噴嘴,所述噴嘴被分成多個(gè)四分部,每個(gè)四分部包含至少一個(gè)用于所述種類的出口,所述四分部中的每一個(gè)定義位于下方的隔間的壁,該隔間包含至少一個(gè)種類,其中兩個(gè)相鄰的隔間包含不同種類。專利說(shuō)明汽相沉積系統(tǒng)[0001] 本申請(qǐng)是申請(qǐng)日為2009年10月8日、申請(qǐng)?zhí)枮?00980140045. 6、發(fā)明名稱為"汽 相沉積系統(tǒng)"的發(fā)明專利申請(qǐng)的分案申...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。