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汽相沉積系統(tǒng)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):3317383

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本發(fā)明涉及一種汽相沉積系統(tǒng),具體地,涉及一種化學(xué)束薄膜沉積設(shè)備及薄膜沉積的方法。本發(fā)明提供了一種用于對(duì)多種種類進(jìn)行真空沉積的噴嘴,所述噴嘴被分成多個(gè)四分部,每個(gè)四分部包含至少一個(gè)用于所述種類的出口,所述四分部中的每一個(gè)定義位于下方的隔間的壁,該隔間包含至少一個(gè)種類,其中兩個(gè)相鄰的隔間包含不同種類。專利說(shuō)明汽相沉積系統(tǒng)[0001] 本申請(qǐng)是申請(qǐng)日為2009年10月8日、申請(qǐng)?zhí)枮?00980140045. 6、發(fā)明名稱為"汽 相沉積系統(tǒng)"的發(fā)明專利申請(qǐng)的分案申...
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