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干法刻蝕方法、干法刻蝕裝置、金屬膜及具有該金屬膜的設(shè)備的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):3314322

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本發(fā)明提供干法刻蝕方法、干法刻蝕裝置、金屬膜及具有該金屬膜的設(shè)備,用于使形成與e-二酮進(jìn)行5或6配位的絡(luò)合物構(gòu)造的金屬膜的蝕刻速度提高。該干法刻蝕方法使用含有e-二酮在內(nèi)的蝕刻氣體對(duì)基板上形成的金屬膜進(jìn)行蝕刻,所述金屬膜至少含有一種形成與所述e-二酮進(jìn)行5或6配位的絡(luò)合物構(gòu)造的金屬,所述含有e-二酮的蝕刻氣體含有h2o及h2o2的任意一種以上的添加劑,該添加劑的體積濃度為i%以上而20%以下。專利說(shuō)明干法刻蝕方法、干法刻蝕裝置、金屬膜及具有該金屬膜的設(shè) 備...
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