技術(shù)編號：3313467
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明公開了一種可控反應(yīng)物均勻分布的雙通道噴口結(jié)構(gòu)，包括第一通道、第二通道。所述第一通道為等直徑或變直徑圓柱形通道，所通反應(yīng)物氣體為GaCl；所述第二通道位于第一通道中心位置，所通氣體可以是N2也可以是GaCl與N2的混合氣體；所述第二通道可以為一段圓柱形通道，也可由兩段組成，上段為圓柱形，下段為圓臺形或倒圓臺形，兩段相連處直徑相等。本發(fā)明一種可控反應(yīng)物均勻分布的雙通道噴口結(jié)構(gòu)，通過最佳化兩通道中氣體流量大小，來改善反應(yīng)物GaCl在襯底上方附近徑向分布的均...
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